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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
이상준 (한국표준과학연구원) 노삼규 (한국표준과학연구원) 배수호 (아이쓰리시스템) 정한 (아이쓰리시스템)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제20권 제1호
발행연도
2011.1
수록면
22 - 29 (8page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2011

[InAs/GaSb] 응력 초격자에 기초한 [320×256]-FPA 적외선 열영상 모듈 제작
이상준 ,  노삼규 ,  배수호 외 1명 Applied Science and Convergence Technology 2011.01 학술저널

2009

적외선검출소자의 활성층 최적화를 위한 InAs/GaSb 응력초격자의 고분해능 XRD 분석
이상준 ,  김창수 ,  노삼규 외 3명 한국진공학회 학술발표회초록집 2009.08 학술대회자료

초록· 키워드

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InAs/GaSb 제2형 응력초격자(SLS)를 활성층에 탑재한 [320×256] 초점면 배열(FPA) 적외선 열영상 모듈을 제작하고 열영상을 구현하였다. p-i-n형으로 설계된 소자의 활성층(i) 구조는 300 주기의 [13/7]-ML [InAs/GaSb]-SLS로 구성되어 있고, p와 n 전극층에는 각각 60주기의 [InAs:Be/GaSb]-SLS와 115 주기의 [InAs:Si/GaSb]-SLS 구조를 채용하였다. 시험소자의 광반응(PR) 스펙트럼으로부터 피크 파장(λ<SUB>P</SUB>)과 차단 파장(λ<SUB>CO</SUB>)은 각각 ∼3.1/2.7 ㎛과 ∼3.8 ㎛이고 180 K 온도까지 동작을 확인하였다. 단위 화소의 간격/메사는 30/24 ㎛ 규격으로 설계되었으며, [320×256]-FPA는 표준 광묘화법으로 제작하였다. 18/10 ㎛의 In-bump/UBM 공정과 flip-chip 결합 기술을 적용하여 FPA-ROIC 열영상 모듈을 완성하였으며, 중적외선용 영상구동 회로 및 S/W를 활용하여 열영상을 시연하였다.
#적외선검출소자 #인듐비소/갈륨안티모니(InAs/GaSb) #응력초격자 #[320×256] 초점면배열(FPA) #광반응(PR) 스펙트럼 #열영상 #Infrared photodetector #Indium arsenide/gallium antimonide (InAs/GaSb) #Strained-layer superlattice (SLS) #[320×256] Focal-plane array (FPA) #Photoresponse (PR) spectrum #Thermographic image

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 결과 및 논의
Ⅳ. 요약 및 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (25)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - A. V. Barve / 2009 / / Laser & Photonics Rev 3 (1) google schola 2. [학술지(정기간행물)] - W. Q. Ma / 2008 / / Appl. Phys. Lett 93 : 013502 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - B. Movaghar / 2008 / / Phys. Rev. B 78 : 115320 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Zhonghui Chen / 2006 / Two-Color InAs/InGaAs Quantum-Dot Infrared Photodetectors for Mid- and Long-Wavelength Infrared Detection / Journal of the Korean Physical Society 49 (III) : 837 ~ 842 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - H. S. Kim / 2008 / / Appl. Phys. Lett 92 : 183502 ~ google schola

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UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001273124