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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제18권 제6호
발행연도
2009.11
수록면
481 - 487 (7page)

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탄소나노필라멘트의 직경크기를 조절하기 위하여 증착 반응초기에 SF?를 증착원료기체(C₂H₂, H₂)에 주입하였다. 증착 원료기체와 SF?를 열화학기상증착시스템에서 시간에 따라 싸이클릭 유량 변조시켰다. 싸이클릭 유량 변조 프로세스와 기판의 온도에 따라 기판위에 증착된 탄소나노필라멘트들의 특성을 조사하였다. 싸이클릭 에칭기간에 SF?를 투입하자 탄소나노필라멘트의 직경크기는 급격히 감소하였다. 이러한 탄소나노필라멘트 직경의 크기 감소 원인은 SF? 기체의 주입에 따른 에칭능력 향상에 기인하는 것으로 이해되었다.
#Carbon nanofilaments #Diameter size #Cyclic modulation process #Thermal chemical vapor deposition #탄소나노필라멘트 #직경크기 #싸이클릭 변조프로세스 #열화학기상증착

목차

Ⅰ. INTRODUCTION
Ⅱ. EXPERIMENTAL
Ⅲ. RESULTS AND DISCUSSION
Ⅳ. CONCLUSIONS
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - M. Knupfer / 2001 / / Surf. Sci. Rep 42 : 1 ~ google schola 2. [학술지(정기간행물)] - R. Ma / 1999 / / Mater, Res, Bull 34 : 741 ~ google schola 3. [학술지(정기간행물)] - S. Hofmann / 2004 / / Diamond Relat. Mater 13 : 1171 ~ google schola 4. [학술지(정기간행물)] - G. Yu / 2005 / / Carbon 43 : 3015 ~ google schola 5. [학술지(정기간행물)] - C. J. Lee / 2001 / / Chem. Phys. Lett 343 : 33 ~ google schola

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