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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2009.5
- 수록면
- 197 - 202 (6page)
이용수
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사중극 질량분석기(Quadrupole Mass Spectrometer, QMS) 이온전류의 안정성은 진공공정 가스를 모니터링 하는데 중요한 요소중 하나이다. 진공챔버에 질소가스를 주입하여 압력을 일정하게 유지하면서 시간에 따른 이온전류의 변화를 모니터링 하였다. 진공챔버는 측정하기 전에 잡음신호를 줄이기 위해 ~3×10<SUP>-9</SUP> Torr 까지 배기하였고, 두개의 이온소스를 측정했다; 하나는 오염된것으로 갈색 또는 검은색을 띄고 있고 다른 하나는 새 것이다. 질소 압력 1×10<SUP>-5</SUP> Torr에서, 오염된 이온소스의 이온 전류는 시간이 지남에 따라 더 빨리 감소했다. 대략 5.5 시간이 지난 후, 감소율은 새 것이 ~46%이고 오염된 것은 ~84%였다. 필라멘트 재질이 이온 전류감소에 미치는 영향을 관찰하기 위해서 텅스텐 선의 반을 산화이트륨(Y₂O₃)으로 코팅하여 필라멘트를 제작하였다. 유사한 이온전류 감소현상이 재질이 다른 두 필라멘트에서 나타났는데 이것은 필라멘트 재질에 의한 온도의 변화 즉 baking 효과로는 이온전류 감소의 원인을 개선할 수 없다는 것을 의미한다. 전반적으로 이온전류의 감소율은 필라멘트 재질보다 이온소스의 오염과 더 밀접하게 관계되어 있다.
목차
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 실험결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌
참고문헌 (13)
참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - 박종도 / 2008 / 방사광 차단용 진공부품의 냉각수 누설 특성 / 한국진공학회지 17 (1) : 1 ~ 8
2. [학술지(정기간행물)] - L. Lieszkovszky / 1990 / / J. Vac. Sci. Technol A8 : 3838 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. Watanabe / 1999 / / American Institute of Physics 70 : 1880 ~
4. [단행본] - K. Jousten / 2008 / Handbook of vacuum technology / WILEY-VCH : 631 ~ 662
5. [학술지(정기간행물)] - 홍승수 / 2007 / 잔류기체 분석기 교정장치 개발 / 한국진공학회지 16 (2) : 91 ~ 98
2. [학술지(정기간행물)] - L. Lieszkovszky / 1990 / / J. Vac. Sci. Technol A8 : 3838 ~
3. [학술지(정기간행물)] - S. Watanabe / 1999 / / American Institute of Physics 70 : 1880 ~
4. [단행본] - K. Jousten / 2008 / Handbook of vacuum technology / WILEY-VCH : 631 ~ 662
5. [학술지(정기간행물)] - 홍승수 / 2007 / 잔류기체 분석기 교정장치 개발 / 한국진공학회지 16 (2) : 91 ~ 98
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