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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제2호
발행연도
2008.3
수록면
96 - 101 (6page)

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MgO는 플라즈마 디스플레이 패널 (Plasma Display Panel, PDP)의 보호막으로 널리 쓰이고 있다. 기존의 산소 이온빔 보조증착(Ion-Beam-Assisted Deposition, IBAD) 방법을 이용하여 MgO 보호막을 형성시킨 경우 이온빔의 충전에 의해 야기되는 아크(Arc) 문제 등이 있었다. 이 문제점을 해결하기 위하여, 산소 중성빔 보조증착(Neutral-Beam-Assisted Deposition, NBAD) 방법을 이용하여 MgO를 증착하였다. 그리고 산소 중성빔의 에너지를 변화시킴에 따라 MgO 보호막의 특성과 PDP 패널 방전 특성에 미치는 영향을 분석하였다. 이에 따른 실험 결과로부터 산소 중성빔 에너지가 300eV일 때, 최소 방전 개시전압, 최고 발광 휘도 및 최고 발광 효율을 얻을 수 있었다.
#플라즈마 디스플레이 패널 #마그네슘 산화막 #중성빔 보조증착 #Plasma Display Panel (PDP) #Magnesium Oxide (MgO) #Neutral-Beam-Assisted Deposition (NBAD)

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험방법
Ⅲ. 실험결과
Ⅳ. 결론
감사의 글
참고문헌

참고문헌 (15)

참고문헌 신청
1. [학술지(정기간행물)] - T. S. Tae / 2003 / Korean Phys / Soc 42 (S844) google schola 2. [학술지(정기간행물)] - M. Noh / 2003 / Korean Phys / Soc 42 (631) google schola 3. [학술지(정기간행물)] - H. Sun / 2002 / Korean Phys / Soc 40 (L777) google schola 4. [기타자료] - Y. Ushio / 1988 / Thin Solid Films 167 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - I. Koiwa / 1995 / Electrochem / Soc 142 (1396) google schola

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