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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제17권 제3호
발행연도
2008.5
수록면
175 - 182 (8page)

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반도체 장비용 진공코팅부품의 공정영향에 의한 내부식 성능 평가방법을 연구개발 하였다. 평가기준을 마련하기 위해 반도체 공정에서 교체된 코팅부품의 특성을 분석ㆍ평가하였다. 코팅부품의 성능을 정량적으로 측정하기 위하여 부품의 코팅막으로 많이 사용되고 있는 Al₂O₃ 막의 건식부식실험을 실시하였고 표면모폴로지, 누설전류 및 내전압측정 등을 수행하였다. 실험결과 건식부식처리 후 샘플의 누설전류량이 증가하였고, 절연내력이 크게 줄어 전기적 특성이 하향된 결과를 보였으며, 표면 모폴로지의 경우 부식시간 증가에 따라 표면 손상정도가 증가하는 것을 확인 할 수 있었다. 부식공정에 의한 이들 특성 값 변화를 이용하여 코팅부품의 공정영향에 의한 성능평가 방법을 개발할 수 있었다.
#반도체 #코팅부품 #내부식성 #공정영향평가 #Al₂O₃ #semiconductor #coated element #corrosion resistance #breakdown

목차

Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 및 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고 문헌

참고문헌 (9)

참고문헌 신청
1. [기타자료] - D. B. Graves / 1994 / IEEE Transactions on Plasma Science 22 google schola 2. [기타자료] - Hattori, T. / 1991 / Application and Identification System in ULSI Wafer Processing, Solid State Technology 34 google schola 3. [기타자료] - S. K. Kim / 2006 / Journal of the Korean Vacuum Society 15 google schola 4. [학술지(정기간행물)] - Yao Weilian / 1994 / Mater / Mechanical Eng 18 : 6 ~ 14 google schola 5. [학술지(정기간행물)] - W. J. Yoo / 1992 / Appl. Phys / Lett 60 (1073) google schola

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