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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제5호
발행연도
2006.9
수록면
534 - 540 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

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V₂O₃, VO₂, V₂O? 박막들이 하나의 선구 용액으로부터 다양한 후열처리 조건을 통하여 제작될 수 있었다. 진공 중 후열처리 시 rhombohedral 구조의 V₂O₃ 박막이 형성되어졌고, 공기 중 후열처리 시 orthorhombic 구조의 V₂O? 박막을 얻을 수 있었다. Monoclinic 구조의 VO₂ 박막은 진공 후열처리 중 O₂ 가스를 공급함으로써 제작될 수 있었다. V₂O₃ 박막이 상온에서 도체적 특성을 보이는 반면, V₂O?, VO₂ 박막은 반도체적 성질을 지니고 있음을 전기적, 광학적 특성 조사를 통하여 알 수 있었다. 크롬(Cr)이 도핑됨에 따라 VO₂ 박막은 그 전기전도성이 n?type에서 p?type으로 변화하였고 비저항이 감소되는 결과를 나타내었다. 또한, 크롬 도핑된 VO₂ 박막은 orthorhombic 구조를 나타내었다. 이와 같은 바나듐 옥사이드 박막들에서 관측된 광학적 흡수 구조들은 O 2p 에서 V 3d 밴드로의 전이에 의한 것으로 해석되어진다. 바나듐 이온의 t<SUB>2g</SUB> 상태와 e<SUB>g</SUB> 상태 사이의 결정장 갈라짐(crystal?field splitting)은 V₂O?와 VO₂에 대해서 각각 1.5 및 1.0 eV로 해석된다.

목차

영어 초록
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and discussion
Ⅳ. Conclusion
Acknowledgment
References
한국어 초록

참고문헌 (0)

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