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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제4호
발행연도
2006.7
수록면
404 - 409 (6page)

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RF magnetron sputtering법을 이용하여 quartz 기판 위에 spinel 구조의 ZnGa₂O₄:Mn<SUP>2+</SUP> 박막 형광체를 상온에서 증착 하였다. 후 열처리 온도에 따라 박막의 결정성, 표면 거칠기와 조성비가 변하였으며 이는 박막 형광체의 발광특성에 영향을 주었다. 후 열처리 온도가 500 ℃에서 900 ℃로 올라감에 따라, 후 열처리 온도가 700 ℃일 때 가장 낮은 수치의 표면 거칠기를 보였고 이로 인한 낮은 외부 양자 효율로 인하여 발광특성이 좋지 않았다. 후 열처리 온도가 800 ℃일때 결정화 정도가 좋았으며 적당한 표면 거칠기와 화학적 조성비로 인해 최적의 발광특성을 보였다. 반면 후 열처리 온도가 900 ℃일 때 결정성은 가장 좋았으나 Zn의 높은 증기압으로 인한 화학적 조성비의 깨짐으로 발광특성이 좋지 못하였다.
#RF magnetron sputtering #박막 #ZnGa₂O₄:Mn< #SUP> #2+< #/SUP> #형광체 #Thin film, #Phosphor

목차

한국어 초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 실험 방법
Ⅲ. 결과 및 고찰
Ⅳ. 결론
참고문헌
영어 초록

참고문헌 (0)

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