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논문 기본 정보

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한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제15권 제1호
발행연도
2006.1
수록면
24 - 30 (7page)

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광학공동 적분 투과 분광법(integrated cavity output spectroscopy, ICOS)은 파장가변 레이저와 광학공동을 이용해 미량기체의 절대 밀도를 고감도로 측정할 수 있는 실시간 흡수 분광계측 기법이다. 이 기법은 압전 소자를 이용해 길이가 변조되는 고 피네스(high finesse) 파브리-페로 공동(Fabry-Perot cavity)을 공명 투과하는 연속파 파장 변조 레이저의 적분 출력으로 부터 공동 내부 시료의 분광 흡수량을 측정하는 원리를 이용한다. 본 연구에서는 764.7 ㎚ 파장 근처에서 파장이 변조되는 외부 공진기 반도체 레이저를 광원으로 사용하고, 99.997%의 높은 반사율을 갖는 거울로 구성된 파브리-페로 공동을 이용해 파장에 따른 투과 감쇠 신호를 발생시키는 실험 장치를 구성하였다. 산소 기체에 대한 측정 실험을 수행한 결과, 최소 흡수계수 8.45×10?? ㎝?¹ 에 해당하는 미량기체 밀도를 측정할 수 있는 성능을 얻었다.

목차

국문초록
Ⅰ. 서론
Ⅱ. 이론
Ⅲ. 실험 방법
Ⅳ. 실험 결과 및 분석
Ⅴ. 결론
감사의 글
참고문헌
Abstract

참고문헌 (0)

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