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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제13권 제2호
발행연도
2004.6
수록면
65 - 71 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

2004

공기 중에 노출된 a-C : H 박막의 ESR 스펙트럼 변화
윤원주 ,  이정근 Applied Science and Convergence Technology 2004.06 학술저널

2001

수소 함유량 변화에 따른 a-C:H 박막 ESR lineshape의 변화
윤원주 ,  조정민 ,  이정근 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2001.07 학술대회자료

초록· 키워드

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PECVD 방법으로 증착된 a-C : H 박막들이 공기 중에 노출되었을 때 나타나는 ESR 스펙트럼의 변화가 조사되었다. 증착 조건에 따라 차이는 있으나, 대체적으로 공기 중에서 노출된 시간이 늘어남에 따라 ESR 신호높이가 점차로 줄어들고 ESR 신호폭은 점점 더 넓어지는 것이 관찰되었다. 스핀밀도는 샘플에 따라서 40-80% 정도로의 감소를 보였다. 공기 중에 노출된 a-C : H 박막의 스핀밀도의 감소는 공기 중의 수분의 침투와 후속적인 수소 확산 및 재배치에 의한 것으로 간주되었다. 그리고 공기 중에 있던 샘플들을 다시 진공 중에 놓아 두면 ESR 신호 높이는 다시증가하고 신호폭은 다시 감소되었는데, 이것은 샘플에서 산소가 다시 빠져나감에 기인하는 것으로 생각되었다. 결과적으로 공기 중에서 a-C : H 박막의 ESR 스펙트럼 변화는 이러한 스핀밀도의 감소 및 산소 침투와 복합적으로 관련되어 있는 것으로 추정되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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