메뉴 건너뛰기
.. 내서재 .. 알림
소속 기관/학교 인증
인증하면 논문, 학술자료 등을  무료로 열람할 수 있어요.
한국대학교, 누리자동차, 시립도서관 등 나의 기관을 확인해보세요
(국내 대학 90% 이상 구독 중)
로그인 회원가입 고객센터 ENG
주제분류

추천
검색
질문

논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제7권 제4호
발행연도
1998.11
수록면
355 - 360 (6page)

이용수

표지
📌
연구주제
📖
연구배경
🔬
연구방법
🏆
연구결과
AI에게 요청하기
추천
검색
질문

이 논문의 연구 히스토리 (2)

초록· 키워드

오류제보하기
250 Å과 1340 Å 두께의 에피탁시 (Ba_(0.5)Sr_(0.5))TiO₃(혹은 BST) 박막을 MgO(001) 단결정기판에 펄스형 레이저 증착법(pulsed laser deposition)으로 제조한 후 방사광 X선 산란을 이용하여 분석하였다. 박막은 초기에 MgO(001) 단결정 기판과 cube-on-cube 관계로 증착되며, 박막이 성장함에 따라 이 관계를 계속 유지하면서 성장하는 것으로 판단된다. 한편 박막이 성장함에 따라 박막의 표면은 급격하게 거칠어지는 반면 기판과 박막 사이의 계면의 거칠기는 크게 변하지 않았다. 에피탁시 BST 박막의 초기상태에서는 c축이 기판과 수직한 방향으로 배향된 정방정구조를 보였으며, 박막이 성장함에 따라 그 격자상수가 덩어리(bulk) BST의 값을 지닌 완전한 입방정 구조를 지녔으며, 아울러 기판의 수직(out-of-plane) 및 평행(in-plane) 방향으로의 모자익(mosaic) 분포가 좁아짐을 확인하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 결과 및 고찰

4. 결론

감사의 글

참고문헌

참고문헌 (0)

참고문헌 신청

함께 읽어보면 좋을 논문

논문 유사도에 따라 DBpia 가 추천하는 논문입니다. 함께 보면 좋을 연관 논문을 확인해보세요!

이 논문의 저자 정보

최근 본 자료

전체보기

댓글(0)

0

UCI(KEPA) : I410-ECN-0101-2019-420-001267013