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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제1권 제3호
발행연도
1992.10
수록면
371 - 375 (5page)

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본 연구는 박막의 전기적 특성을 정밀하게 측정하기 위하여 필수적인 고가의 측정시스템을 구매하는 대신에, 현재 보유하고 있거나 적은 비용으로 구매된 단위 계측기들과 범용 PC를 조합, 자동화시킴으로서 동등한 수준의 고정밀도의 재현성을 얻고자 하였다. 이를 조합한 측정 시스템으로 I-V, C-V, C-t 및 미소 전류를 측정할 수 있었으며, 이들을 범용 PC로 제어하므로서 측정 시스템의 자동화를 시도하였다. 이를 위하여 측정 장비와 컴퓨터의 인터페이스로 국제 표준 버스(IEC Bus, GPIB)를 제작하여 사용하였고, 제어 및 분석 프로그램은 C언어로 작성하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 측정 시스템의 구성

3. Software 및 측정결과

4. 결론

참고문헌

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