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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제11권 제1호
발행연도
2002.4
수록면
28 - 34 (7page)

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진공 증착한 Sb_(2-x)Bi_xTe₃ 박막은 Bi 농도에 관계없이 비정질 형태로 성장되었고, XPS 분석 결과 증착 물질과 거의 유사한 조성을 가짐을 알 수 있었다. 또한 박막의 광학적, 전기적 특성을 설명하기 위해 여러 미세구조 파라미터들을 계산하였다. 한편, 박막 내 Bi 농도가 증가함에 따라 전기 비저항은 급격히 감소하였고, 특히 높은 Bi농도(x=1.0)에서는 전도 특성이 p-type에서 n-type으로 변화되었다. 또한 Sb_(2-x)Bi_xTe₃ 박막의 굴절 지수 및 광학적 밴드 갭은 Bi 농도에 따라 증가하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험 방법

3. 실험 결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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