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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
315 - 321 (7page)

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본 논문에서는, 개인용 PC를 이용한 새로운 혼합 잡음 제거 알고리즘으로 설계된 전자현미경 (SEM: Scanning Electron Microscope) 영상 처리 시스템을 제안하였다. 전자현미경 같이 반도체 시료 등의 세밀한 부분을 보는 시스템은 잡음에 매우 민감하므로, 출력 영상의 잡음 제거가 시스템 성능의 중요한 요인이 된다. 혼합 잡음으로 오염된 영상에 대해 가중-D(weighted-D) 필터는 균일 잡음과 가우시안 잡음은 효과적으로 제거하는 반면, 임펄스 잡음은 완전히 제거하지 못하는 단점이 있다. 본 논문에서 혼합 잡음 제거를 위해 제안한, 개선된 필터링 알고리즘은 NMSE(Normalized Mean Square Errors)를 이용하여 평가하였다. NMSE 이용시 제안된 필터가 가중-D 필터보다 0.96~2.5배 향상된 결과를 보였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 전자현미경 영상처리 시스템 설계

3. 혼합 잡음 제거 알고리즘의 제안

4. 실험 및 결과 고찰

5. 결론

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