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논문 기본 정보

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학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제8권 제3(2)호
발행연도
1999.8
수록면
276 - 282 (7page)

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이 논문의 연구 히스토리 (4)

1999

표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발
김경중 ,  문대원 Applied Science and Convergence Technology 1999.08 학술저널
표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅰ : 표면조성분석용 합금박막 표준물질
김경중 ,  박용섭 ,  문대원 Applied Science and Convergence Technology 1999.08 학술저널
표면분석용 인증표준물질의 개발 Ⅱ : 깊이분포도용 다층 박막 표준물질의 개발
김경중 ,  문대원 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료
표면분석용 인증표준물질의 개발 I : 표면조성분석용 합금박막 표준물질의 제작 및 응용
김경중 ,  박용섭 ,  문대원 한국진공학회 학술발표회초록집 1999.02 학술대회자료

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다성분으로 이루어진 물질의 정량적인 표면조성분석을 위해서는 매질효과와 이온빔 스퍼터링에 의한 표면 농도 변화를 보정하는 정량화 알고리즘과 그 조성이 정확히 인증된 표준물질이 요구된다. 이러한 인증표준물질은 장비의 성능 평가, 실험실간의 상호 비교 및 표면분석의 정량성 향상을 위해 필요하다. 한국 표준과학연구원 표면분석그룹에서는 이온빔 스퍼터증착법과 동시분석에 의해 합금박막의 조성을 자유로이 조절할 수 있는 장비를 개발하여 다양한 합금박막 표준물질을 제작하고 공급할 수 있도록 하였다. 제작된 합금박막 표준물질의 조성은 대표적인 화학분석법인 유도결합플라즈마 원자방출분광법에 의해 인증되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 표면조성분석 국제표준화 및 표준물질 현황

3. 스퍼터증착 장비 및 합금박막 제작 방법

4. 표면정량용 합금박막 CRM

5. 맺는말

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