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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제10권 제3호
발행연도
2001.10
수록면
356 - 360 (5page)

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다음극 DC PACVD법에서 합성된 직경 80 mm, 두께 900 ㎛~950 ㎛의 자유막 다이아몬드웨이퍼의 특성을 분석하였다. 광투과현미경으로 결함의 분포를 관찰하고, Raman 및 IR 장치로 결정성을 분석하였다. 결함은 결정입계 부위에서 많이 관찰되었다. 또한 하나의 결정립에서 (111)면이 (100)면에 비해 상대적으로 많은 결함을 함유하였다. Raman 다이아몬드 peak의 FWHM 및 10.6 ㎛ 파장에서의 IR 투과도는 각각 4.6 cm-¹~5.3 cm-¹ 및 51.7%~61.9% 로, 두 값의 웨이퍼 내에서 균일성은 ±7% 및 ±9%이었다. 다이아몬드 웨이퍼의 결정성은 가운데에서 가장자리로 갈수록 저하되었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과 및 고찰

4. 결론

참고문헌

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