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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제6권 제4호
발행연도
1997.11
수록면
298 - 307 (10page)

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이 논문의 연구 히스토리 (2)

1997

CRT 부품용 탈가스 및 Thermal Desorption 측정장치 개발
신용현 ,  홍승수 ,  문성주 외 2명 Applied Science and Convergence Technology 1997.11 학술저널
CRT 부품용 탈가스 및 Thermal Desorption Spectroscopy 측정장치 개발
신용현 ,  홍승수 ,  문성주 외 1명 한국진공학회 학술발표회초록집 1997.07 학술대회자료

초록· 키워드

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CRT부품 탈가스(outgassing)를 온도를 변화시켜가며 측정할 수 있고 시료의 열탈착 특성을 측정할 수 있는 TDS(Thermal Desorption Spectroscopy) 측정 장치를 설계 제작하였다. 제작된 시스템은 유효 배기 속도를 조절할 수 있는 진공 장치와 시료의 온도조절 장치, 탈가스 측정 장치로 구성되어 있다. 제작된 시스템의 최저 도달 진공도는 1×10^(-7) Pa 이하였고 가변 콘덕탄스(conductance)를 채택하여 유효 배기 속도를 조절 할 수 있도록 제작되었다. 가변 콘덕탄스 조절에 따른 시료위치에서의 유효 배기 속도 변화를 측정하였다. 텅스텐 히터와 온도조절기를 이용하여 시료의 온도는 600℃까지 ±1℃ 이내 오차로 조절 할 수 있었으며 온도 상승률도 조절할 수 있었다. 측정계기로 사용한 이온 진공계(ion gauge)와 사중극 질량분석기(quadrupole mass spectrometer)의 감도를 측정하여 정량적인 측정을 할 수 있도록 하였다. 제작된 시스템을 이용하여 CRT 공정에서의 부품별 온도별 측정 예와 공정분석에의 적용 예를 보였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 탈가스 및 TDS 측정 이론

3. 측정 장치 설계 및 제작

4. CRT 부품의 탈가스 특성 조사

5. 결론

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