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논문 기본 정보

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학술저널
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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제3권 제3호
발행연도
1994.9
수록면
280 - 285 (6page)

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본 연구에서는 Al 금속 표변에 CW CO₂ 레이저 범의 조사시 표면 온도의 증가에 따른 표면과 기체 분자의 계면사이에서 발생하는 다양한 물리적 현상을 측정하였다. 온도 증가에 따른 계면에서의 물리적 현상은 Al 표면에 힘의 변화를 초래하는데, 이 힘의 변화를 시간에 따라 정확하게 측정하고, 측정한 힘을 온도와 연계하여 분석하면 계면의 상호작용에 의한 물리적 현상을 설명할 수 있다. 즉 레이저와 표면의 상호작용은 레이저 강도에 따라 기체와 표면 사이의 에너지 및 선운동량의 전달, 표면 흡착 원자의 방출 및 표면 물질의 증발 등으로 구분되는데, 이러한 상호 작용시 수반되는 힘의 변화를 이용하여 Al 금속 표면에 대한 기체 종류별 Momentum Accommodation Coefficient (MAC)를 계산하였고, Al 표면에 흡착된 원자의 종류, 갯수 벚 결합 에너지를 구하였다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 연구방법 및 실험장치

3. Kundsen Force 측정에 의한 기체와 Al 금속 표면의 물리적 상호작용

4. Langmuir Recoil Force 측정을 이용한 흡착원자의 갯수 및 흡착에너지 분석

5. 표문물질의 용발에 의한 운동량

6. 결론

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