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한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.6 No.1
발행연도
2002.6
수록면
22 - 29 (8page)

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The process of energetic deposition has been simulated by using molecular dynamics (MD) simulation and kinetic Monte Carlo (KMC) simulation. The atomistic mechanisms of film growth in energetic deposition are discussed.

목차

Abstract

1. Introduction

2. Modeling of Energetic Deposition : Md Simulation

3. Modeling of Energetic Deposition : Kmc Simulation

4. Conclusions

References

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