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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Journal of Korean Vacuum Science & Technology Journal of Korean Vacuum Science & Technology Vol.3 No.1
- 발행연도
- 1999.4
- 수록면
- 74 - 78 (5page)
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For a high efficient field emission display (FED), the specific vacuum conditions below 10^(-7) Torr should be required. However, because the FED has the geometrical restriction due to its micro size, the thin film getters can be proposed for chemical pumping as a way to reduce impurity gases in the panel. The thin film getters, developed by employing the coating of new materials such as Ni or Pt on getter surface, can be used without any activation process and show the enhanced sorption characteristics. Especially, using the Zr (1 ㎛) thin film getters with the Pt surface layer, the significant gettering for various active gases could be achieved from 9×10^(-5) Torr to 1×10^(-6) Torr or below. This good sorption properties is mainly contributed to the surface coating layer which shows the catalytic effect for gas dissociation and protects the getter materials against oxidation.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusion
Acknowledgement
References
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