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논문 기본 정보

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저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology 한국진공학회지 제5권 제1호
발행연도
1996.3
수록면
48 - 53 (6page)

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실리콘 모재 위에 증착된 코발트 박막의 l/f 잡음 발생 메카니즘을 미시적 관점에서 살펴보았다. 코발트 박막은 p형 (100) 실리콘 위에 고진공에서 전자빔 증착기술에 의해 준비되었으며, 코발트 박막에 대한 표면저항 측정 및 전자회절 패턴 관찰과 더불어 l/f잡음전력 스펙트럼밀도를 액체질소 온도에서 측정하였다. 측정된 잡음전력 스펙트럼 밀도는 계면박막의 구조적인 전환 영역과 금속성 성질로의 전환 영역에서 가장 큰 값을 나타냈으며, 다결정의 코발트 실리사이드가 핵생성된 후 잡음밀도의 크기는 10^(-4)배 이하로 급격히 감소하였다. 이 잡음변수는 계면박막의 구조적 불안정성을 나타냄을 알 수 있었다.

목차

요약

Abstract

1. 서론

2. 실험방법

3. 실험결과와 고찰

4. 결론

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