Humidity Calibration for a Pressure Gauge Using a Temperature-Stable Quartz Oscillator

Atsushi Suzuki

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자료유형: 학술저널

저자정보: Atsushi Suzuki (National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST))

저널정보: 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.25 No.6

발행연도: 2016.11

수록면: 124 - 127 (4page)

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Humidity calibration for a temperature-stable quartz oscillator (TSQO) was investigated to exclude the influences of relative humidity on the TSQO output in order to use the corresponding devices outdoors. The TSQO output is a voltage that is inversely proportional to the electric impedance of the quartz oscillator, which depends on the viscosity and density of the measured gas. The TSQO output was humidity calibrated using its humidity dependence, which was obtained by varying the relative humidity (RH) from 0 to 100 RH% while other conditions were kept constant. The humidity dependencies of the TSQO output were fit by a linear function. Subtracting the change in the TSQO output induced by the change in humidity, calculated with the function from the experimentally measured TSQO output for a range of 0-100RH%, eliminated the influence of humidity on the TSQO output. The humidity calibration succeeded in reducing the fluctuations of the TSQO output from 0.4-3% to 0.1-0.3% of the average values for a range of 0-100RH%, at constant temperatures. The necessary stability of the TSQO output for application in hydrogen sensors was below one-third of the change observed for a hydrogen leakage of 1 vol.% hydrogen concentration, corresponding to 0.33% of the change in each background. Therefore, the results in this study indicate that the present humidity calibration effectively suppresses the influence of humidity, for the TSQO output for use as an outdoor hydrogen sensor.

#Quartz oscillator #Humidity calibration #Pressure gauge #Hydrogen sensing #Viscosity measurement

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[학술지(정기간행물)] - K. Kokubun / 1984 / / Vacuum 34 : 731 ~

[학술지(정기간행물)] - A. Kurokawa / 2004 / / Vacuum 73 : 301 ~

[학술지(정기간행물)] - A. Suzuki / 2006 / / Sens. Actuators, A 127 : 37 ~

[학술지(정기간행물)] - A. Suzuki / 2008 / / Jpn. J. Appl. Phys 47 : 3661 ~

[학술지(정기간행물)] - A. Suzuki / 2008 / / Int. J. Hydrogen Energy 33 : 6385 ~

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