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Hyun Jae Park (National Fusion Research Institute) Jin-ha Shin (National Fusion Research Institute) Kang-il Lee (National Fusion Research Institute) Yong Sup Choi (National Fusion Research Institute) Young Il Song (Sungkyunkwan University) Su Jeong Suh (Sungkyunkwan University) Yong Ho Jung (National Fusion Research Institute)
저널정보
한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.26 No.6
발행연도
2017.11
수록면
179 - 183 (5page)

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The direct growth method is simplified manufacturing process used to avoid damages and contaminants from the graphene transfer process. In this paper, graphene nano-walls (GNWs) were direct synthesized using electron cyclotron resonance (ECR) plasma by varying the CH₄/H₂ gas flow rate on the copper foil at low temperature (without substrate heater). Investigations were carried out of the changes in the morphology and characteristic of GNWs due to the relative intensity of hydrocarbon radical and molecule in the ECR plasma. The results of these investigations were then discussed.

목차

Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References

참고문헌 (24)

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