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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 저널정보
- 한국진공학회(ASCT) Applied Science and Convergence Technology Applied Science and Convergence Technology Vol.24 No.6
- 발행연도
- 2015.11
- 수록면
- 262 - 267 (6page)
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We demonstrate the growth of single-walled carbon nanotubes (SWNTs) using ethylene-based chemical vapor deposition (CVD) and ferritin-induced catalytic particles toward growth temperature reduction. We first optimized the gas composition of H₂ and C₂H₄ at 500 and 30 sccm, respectively. On a planar SiO₂ substrate, high density SWNTs were grown at a minimum temperature of 760℃. In the case of growth using nanoporous templates, many suspended SWNTs were also observed from the samples grown at 760℃; low values of I<SUB>D</SUB>/I<SUB>G</SUB> in the Raman spectra were also obtained. This means that the temperature of 760℃ is sufficient for SWNT growth in ethylene-based CVD and that ethylene is more effective that methane for low temperature growth. Our results provide a recipe for low temperature growth of SWNT; such growth is crucial for SWNT-based applications.
목차
Abstract
Ⅰ. Introduction
Ⅱ. Experimental
Ⅲ. Results and Discussion
Ⅳ. Conclusions
References
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