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논문 기본 정보

자료유형
학술저널
저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제5권 제4호
발행연도
2004.1
수록면
161 - 165 (5page)

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In order to get oxidizing power enough for growth of a superconductive thin film with oxide gas, concentrated ozone was used. As a method for concentrating ozone, a method for concentrating ozone by adsorbing ozone selectively into silica-gel beads is adopted, and this concentration is analyzed by the ultraviolet absorption method, the thermal decomposition method and the Q-mass analyzing method. Thermal decomposition method is most effective for measurement of a high concentration of ozone. Ozone as concentrated by the adsorption method got to have a concentration of 97 mol % at the maximum, and it was identified that the concentration of the ozone gas was stable for the time while a thin film was formed.
#Ozone condensation system #Quadrupole mass #Q-mass) analyzing method #Ultraviolet absorption method #Thermal decomposition method

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참고문헌 (6)

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/ 1990. / Atomic layer growth of Bi-Sr-Ca-Cu-O by molecular beam epitaxy using ozone under UV irradiation google schola / 1991. / Detection of ozone using a silver coated quartz crystal rate monitor : 1630 ~ google schola / 1991. / Evaluation of new ozone generator designed for oxide film formation by molecular beam epitaxy method 9 : 2369 ~ google schola / 1992. / A new device for the measurement of ozone in the gas phase : 91 ~ google schola / 1994. / Evaluation of the ozone density condensed by an adsorption method using thermal decomposition Advances in supercon- ductitity VI : 897 ~ google schola

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