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Practical difficulties for preparing a good crosssectional
specimen of GaN-based materials for transmission electron
microscopy have arisen due to large difference of mechanical
properties between hard ceramic substrate and soft GaN-layered
materials. Uneven polishing, sudden cracking, delamination, and
selective sputtering during the conventional wedge polishing technique
are often encountered as experimental hindrances. The preparation
technique based on Strecker’s method can be applied to
overcome these difficulties, which eventually leads to mechanically
stable TEM samples independent of the mechanical properties
of materials. The basic idea is to use hard ceramic dummy
filler for embedding the sample of interest into the dummy frame.
In this study, we applied this technique into preparing cross-sectional
TEM specimen of the GaN-based materials with mechanical
instability and demonstrated usefulness of this hard dummy
filler method in which the possible modifications of the sample of
interest during the preparation must be avoidable. In addition,
practical precautions during the preparation were discussed.
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참고문헌 (15)
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Barna ´A / 1999 / TEM sample preparation by ion milling/amorphization / Micron 30 : 267 ~ 276
Drory MD / 1996 / Hardness and fracture toughness of bulk single crystal gallium nitride / Appl Phys Lett 69 : 4044 ~ 4046
Eberg E / 2008 / Comparison of TEM specimen preparation of perovskite thin films by tripod polishing and conventional ion milling / J Electron Microsc 57 : 175 ~ 179
Egerton RF / 2004 / Radiation damage in the TEM and SEM / Micron 35 : 399 ~ 409
Goodhew PJ / 1985 / Thin foil preparation for electron microscopy in : Practical Methods in Electron Microscopy / Elsevier
Drory MD / 1996 / Hardness and fracture toughness of bulk single crystal gallium nitride / Appl Phys Lett 69 : 4044 ~ 4046
Eberg E / 2008 / Comparison of TEM specimen preparation of perovskite thin films by tripod polishing and conventional ion milling / J Electron Microsc 57 : 175 ~ 179
Egerton RF / 2004 / Radiation damage in the TEM and SEM / Micron 35 : 399 ~ 409
Goodhew PJ / 1985 / Thin foil preparation for electron microscopy in : Practical Methods in Electron Microscopy / Elsevier
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