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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제12호
발행연도
2014.1
수록면
825 - 830 (6page)

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적외선 센서에 이용하기 위한 [(Co1-xCux)0.2(Ni0.3Mn0.7)0.8]3O4 (0≤x≤1) 조성의 박막을 metal organic decomposition (MOD)법을 이용하여 제작하였으며, Cu와 Co의 조성 변화에 따른 박막의 구조 및 전기적 특성을 확인하였다. [(Co1-xCux)0.2(Ni0.3Mn0.7)0.8]3O4 (CCNMO) 박막의 결정화를 위해 500℃에서 열처리를 진행하였다. Cross-section 이미지를 통해 120nm의 높이로 균질하게 증착된 cubic spinel구조의 박막을 얻을 수 있었으며, 박막의 결정성은 Cu의 첨가량이 많아질수록 증가하였다. CCNMO (x=0.6) 박막의 저항은 상온에서 53 Ω·cm 의 값을 나타내었으며, Co가 첨가되지 않은 x=1 조성에서 5.9 Ω·cm 의 낮은값을 나타내었다. 또한 x=0.6 이상의 모든 CCNMO 박막은 상온에서 -2%/℃ 이상의 높은 negative temperature coefficient of resistance (NTCR) 값을 나타내었으며, 이를 통해 CCNMO 박막이 볼로미터에 응용가능한 소재임을 확인하였다.
#Metal organic decomposition #Bolometer sensor #Temperature coefficient #Solution process

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