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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제12호
발행연도
2014.1
수록면
852 - 856 (5page)

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Hydrate salt법을 이용하여 120℃의 낮은 온도와 상압 하에서 Bath에서 nano BaTiO3 powder가 일부 합성될 수 있다. 후막 공정의 두께가 점차 낮아짐에 따라 나노 입자의 필요성 또한 증대되고 있으나 이와 같은 저온 합성 온도와 공기 중 분위기에서 나노 BaTiO3 입자의 합성에 관한 연구 결과는 아직 충분히 보고되지 않았으며 명확한 합성 mechanism에 대한 연구 결과는 아직까지 제시되지 않고 있다. 또한 나노 BaTiO3 합성 과정에서 저온 공정이므로 추가적으로 도입될 수 있는 초음파처리에 따른 영향에 관한 연구 또한 시도되지 않았다. 따라서 본 연구에서는 120℃ 저온에서 합성 시간 변화와 초음파 처리를 통하여 이들 공정변화가 합성에 미치는 영향을 평가하고 합성의 중간 단계를 관찰함으로써 합성 mechanism에 대한 실험적인 결과를 도출하였다. 실험 결과 KOH염을 이용하여 Hydrate salt법으로 120℃의 저온에서 1시간 합성한 경우 10 nm 이하의 BaTiO3 균일한 분말을 합성할 수 있었다. 초음파 처리를 이용하여 합성 과정에서 미반응 peak를 줄일 수 있는 것을 확인하였으며 FIB를 이용하여 염의 단면을 절취 후 미세구조를 확인한 결과 염 내부에 nano BaTiO3 particle이 고루 분포하고 있는 것을 확인하였다.

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