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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2014.1
- 수록면
- 516 - 521 (6page)
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현재, 스퍼터링이나 전자-선 증착과 같은 물리적 증착법 또는 화학기상 증착법에 의해 제작된 테프론 (polytetrafluoroethylene, PTFE) 박막이 발수 특성을 갖는 것으로 알려져 있다. 또한 PTFE는 탄소와 불소로 구성되어, 기계적 강도와 열적 또는 화학적 안정성이 클 뿐만 아니라, 낮은 유전상수를 갖는 우수한 절연성을 갖고 있기 때문에 방오, 발수, 내구성, 내부식성 코팅 그리고 전기 절연막과 같은 다양한 분야에서 활발하게 연구되고 있다. 일반적으로 발수 특성은 물방울 접촉각이 90° 이상이면, 소수성 (hydrophobicity), 110°와 150° 사이면, 고 소수성 (high hydrophobicity) 그리고 150° 이상이면 초소수성 (super hydrophobicity)으로 구분되는데, PTFE 박막의 발수 특성은 증착 방법, 증착 조건 그리고 기판에 따라 크게 의존한다 [15]. 그러나 대부분의 증착 방법에 의한 PTFE 박막은 유리 표면에 대한 부착력이 매우 열악하여 실용화에 많은 걸림돌이 되고 있다. 본 연구에서는 Ar 플라즈마에 의한 기판 표면 에칭 공정을 채택하여 표면에 미세구조를 형성하여 그 위에 고주파 마그네트론 스퍼터링 방법을 사용하여 낮은 표면에너지를 갖는 PTFE 박막을 증착하여 플라즈마 전처리에 의한 유리 표면의 거칠기를 수학적 관계식이 Wensel의 모델과의 관계를 구조적으로 분석하고자 한다.
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