지원사업
학술연구/단체지원/교육 등 연구자 활동을 지속하도록 DBpia가 지원하고 있어요.
커뮤니티
연구자들이 자신의 연구와 전문성을 널리 알리고, 새로운 협력의 기회를 만들 수 있는 네트워킹 공간이에요.
논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 171 - 176 (6page)
이용수
초록· 키워드
오류제보하기
본 논문은 크기, 디자인 유용성 및 무선 측정이 고려된 MEMS 인체 이식형 압력센서에 대한 연구를 소개하고 있다. 센서의 기계적 전기적 특성은 수하적 계산과 컴퓨터 시뮬레이션을 통해 구하여졌다. 센서는 두 개의 코일과 코일 사이의 간격에 의해 형성된 커패시터로 구성되어진다. 외부에서 압력이 변하게 되면 인덕턴스 혹은 커패시터의 값이 변하게 되고 따라서 센서의 공진 주파수가 변하게 된다. 760 mmHg의 압력 하에서 이론적으로 분석된 공진 주파수는 269.556 MHz였다. 센서 제작을 위해 인체의 기판 물질에 대한 화학적 전기적 반응을 고려하여 센서 기판 물질로 유리기판을 선택하였다. 센서의 크기는 요골 동맥의 크기에 맞게 2 mm×5 mm×0.5 mm의 사이즈로 스퍼터링, 식각, 포토리소그래피와 같은 반도체 공정을 이용하여 제작되었다. 측정된 센서의 공진주파수는 760 mmHg의 압력 하에서 269~284 MHz의 범위였다.
목차
등록된 정보가 없습니다.
참고문헌 (11)
참고문헌 신청
E. Y. Chow / 2010 / / IEEE Trans. Biomed. Eng. 57 : 1487 ~
F. E. Terman / 1943 / Radio Engineers’ Handbook / McGraw-Hill
H. Fassbender / 2008 / / Proc. IEEE Sensors : 1226 ~
K. H. Shin / 2004 / / Proc. IEEE Sensors : 844 ~
M. A. Fonseca / 2007 / Polymer/Ceamic Wireless MEMS Pressure Sensors for Harsh Environment / Georgia Institute of Technology
F. E. Terman / 1943 / Radio Engineers’ Handbook / McGraw-Hill
H. Fassbender / 2008 / / Proc. IEEE Sensors : 1226 ~
K. H. Shin / 2004 / / Proc. IEEE Sensors : 844 ~
M. A. Fonseca / 2007 / Polymer/Ceamic Wireless MEMS Pressure Sensors for Harsh Environment / Georgia Institute of Technology
이 논문의 저자 정보
최근 본 자료
댓글(0)
0