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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제7호
발행연도
2011.1
수록면
589 - 593 (5page)

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나노 SnO₂분말은 SnCl₂․2H₂O, N₂H₄, NaOH를 출발원료로 이용하여 제조하였다. 나노 SnO₂후막 가스센서는 알루미나 기판위에 스크린 프린팅 하여 300℃에서 열처리하여 준비하였다. XRD 측정결과, 나노 SnO₂는 tetragonal상의 주피크 (110)면이 나타남을 확인 하였다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6인 경우, SnO₂나노 입자의 평균 크기는 약 60 nm로 나타났다. 센서의 감응 특성은 각 센서의 전기 저항으로 부터 계산 하였다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH] 비율 변화에 따른 SnO₂나노 입자의 CH₄ 가스와 CH₃CH₂CH₃ 가스 5 ppm에 대한 가스 감도 측정 결과, CH₄ 가스의 경우, SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율 1:8, CH₃CH₂CH₃ 가스의 경우, SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6에서 감도가 가장 높게 나타났다. SnCl₂:[N₂H₄]+[NaOH]의 비율이 1:6인 나노 SnO₂의 반응 및 회복시간은 각각 40초, 30초로 나타났다.
#SnO₂ #CH₄ #CH₃CH₂CH₃ #Sensitivity

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