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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제15권 제5호
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2002.1
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The electrical properties of the GaN-based green light emitting diodes(LEDs) with the Mg-doped p-GaN layer activated in the N2 or O2 ambient have been compared. For the N2-ambient activation the current-voltage behavior of LEDs has been found to be improved when the Mg dopants activation was performed in the higher temperature. However, for the O2-ambient activation the current-voltage characteristic has been observed to be enhanced when the Mg dopants activation was carried out in the lower temperature. The minimum forward voltage at 20 mA was obtained to be 4.8 V for LEDs with the p-GaN layer activated at 900℃ in the N2 ambient and 4.5 V for LEDs with the p-GaN layer treated at 700℃ in the O2 ambient, respectively. The forward voltage reduction of the LEDs treated in the O2-ambient may be related to the oxygen co-doping of the p-GaN layer during the activation process. The O2-ambient activation process is useful for the enhancement of the LED performance as well as the fabrication process since this process can activate the Mg dopants in the low temperature.

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