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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제12호
발행연도
2013.1
수록면
853 - 857 (5page)

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본 연구에서는 폴리머 탄성체로 제조된 팁이 독립된 동작이 가능하도록 제조된 능동 폴리머 펜 어레이를 설계 및 제조하고, 테스트하였다. PPL 어레이 칩은 PDMS (polydimethylsiloxane) 소재를 soft-lithography 방법을 이용하여 제작하였다. 칩을 구성하는 각각의 probe는 컴퓨터로 제어되는 공기압 조절 장치에 의해 작동되며, 16개의 독립적인 probe들이 동시에 서로 다른 동작으로 부분적인 패턴을 형성하여, 원하는 최종 패턴을 얻는 것이 가능함을 예시하였다. 본 연구에서 제작된 PPL 어레이 칩은 간격이 250 ㎛인 probe가 4×4의 어레이로 구성된 구조이다.

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