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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2013.1
- 수록면
- 882 - 887 (6page)
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고온 공정 모니터링이나 가스누출 검지를 위해 MIS구조로 된 실리콘카바이드를 이용한 수소가스센서에 관해 연구하였다. 센서는 Pd/Ta2O5/SiC로 구성되었으며, 특히 감도를 개선하기 위한 목적으로 수소가스에 대해 침투성이 강하고 고온에서 안정성을 보이는 Ta2O5 유전체 박막을 이용하였다. 실험적으로 0부터 2,000 ppm의 수소가스 농도에 대해, 상온에서부터 500℃까지 온도 범위에서 전류-전압 특성과 정전용량의 변화 특성을 고찰하였다. 그 결과, Ta2O5 유전체 박막을 이용하여 제작한 센서가 수소가스를 검지하는 데 유용하게 사용할 수 있음을 확인하였다.
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