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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 677 - 680 (4page)
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비정질 SiInZnSnO 박막트랜지스터의 전기적 특성의 어닐링 온도의존성에 대해 분석하였다. SZTO박막은 RF스퍼터링 방식으로 증착되었고 다양한 어닐링온도에서 어닐링을 수행하였다. 전계효과 이동도는 어닐링온도 증가에 따라 증가하였으며 문턱전압은 네가티브 방향으로 이동하였다. 결과적으로 어닐링 온도 증가에 따라 산소공공이 형성되어 쿤턱전압의 이동과 온 전류의 증가를 가져오게 되었다.
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