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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제1호
발행연도
2012.1
수록면
33 - 36 (4page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2012

Al₂O₃/SiO₂, HfO₂/SiO₂ 적층 감지막의 두께 최적화를 통한 Electrolyte Insulator Semiconductor 소자의 pH 감지감도특성 비교
구자경 ,  장현준 ,  조원주 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.02 학술대회자료
SiO2/Al2O3 적층 감지막의 두께 최적화를 통한 고성능 Electrolyte-insulator-semiconductor pH 센서의 제작
구자경 ,  조원주 ,  장현준 전기전자재료학회논문지 2012.01 학술저널

2011

열처리에 따른 SiO2/ZrO2 적층 감지막을 이용한 EIS소자의 pH 감지 특성 평가
구자경 ,  장현준 ,  정홍배 외 2명 한국진공학회 학술발표회초록집 2011.08 학술대회자료

초록· 키워드

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본 연구에서 고성능의 pH 센서 제작을 위해 Al2O3 두께에 따른 SiO2/Al2O3 (OA) 적층 감지막의 감지감도 평가가 EIS 구조에서 평가되었다. 5 nm의 SiO2 산화물에 Al2O3 감지막을 각각 5 nm, 15 nm, 23 nm, 50 nm, 100 nm를 적층하였다. OA 감지막의 전기적인 특성 평가와 감지감도 특성은 MIS (metal-insulator-semiconductor), EIS (electrolyte-insulator-semiconductor) 소자를 이용하여 측정하였다. 그 결과 23 nm의 Al2O3를 감지막으로 갖는 OA 적층구조에서 훌륭한 EIS 센서의 감지감도특성을 나타내었고, 향상된 신호 대 잡음비를 보였다.
#EIS #pH sensor #OA stacked layer #Al2O3

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참고문헌 (6)

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C. E. Lue / 2010 / / Microelectron. Reliab 50 : 738 ~ google schola H. J. Jang / 2011 / / IEEE Electron Devices Lett 32 : 973 ~ google schola J. C. Chou / 2001 / / Mater. Chem. Phys 71 : 120 ~ google schola L. Bousse / 1990 / / Sensor. Actuat B2 : 103 ~ google schola R. Mlika / 1997 / / Electrochim. Acta 43 : 841 ~ google schola

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