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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제2호
발행연도
2011.1
수록면
121 - 125 (5page)

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리본 실리콘 태양전지는 낮은 재료비용으로 생산할 수 있어 연구하였다. 하지만 기존의 산성 용액으로는 좋은 텍스쳐링 특성을 얻기가 어렵다. 고효율을 달성하기 위해서는 반사도 특성을 최소화 해야만 한다. 이 논문에서는 산 증기 텍스쳐링과 SiNx 반사방지막을 EFG 리본 실리콘 웨이퍼에 적용하였다. P-type 리본 실리콘 웨이퍼는 200 um의 두께, 3 Ω-㎝의 비저항 특성을 가지고 있다. 리본 실리콘 웨이퍼를 산성 증기에 노출시켰다. 산성 증기 텍스쳐링은 HF : HNO3.의 혼합 용액과 실리콘을 반응에 의해 진행되었다. 산성 증기 텍스쳐링 공정 후에 1 μm 미만의 크기로 나노구조로 형성 되었고 표면 반사도가 6.44%가 나타났다. 반사도는 SiNx 반사방지막을 증착 했을 때 2.37%로 낮아졌다.
#EFG #Ribbon Silicon #Acid Vapor Texturing #SiNx

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/ 2010 / / Solar&Energy Yatap Leaders Bldg 342 (1) google schola A. Ben Jaballah / 2004 / / Applied Surface Science 238 : 199 ~ google schola F. Duerinckx / 2002 / / J. Szlufcik Solar Energy Materials and Solar Cells 72 : 231 ~ google schola J, D. Lee / 2009 / / The Korean Solar Energy Society 29 : 2 ~ google schola K. M. Han / 2009 / / Solar Energy Materials & Solar Cells 93 : 1042 ~ google schola

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