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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 112 - 115 (4page)
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실리콘 박막트랜지스터의 특성 안정화를 위해서는 누설전류를 감소시키는 것이 핵심이라고 할 수 있으며, 이를 개선하기 위해 많은 설계제안이 제시되었으나 마스크의 증가가 원가증가로 이어지는 문제점이 있었다. 본 논문에서는 마스크 공정의 없이 누설전류를 감소시키기 위한 구조인 bird`s beak 공정을 이용해 소자를 제시하고, 실바코 시뮬레이터를 통해 이를 검증하였다. 또한 소자의 구조 가능성을 위해 공정과 패턴확인을 통해 소자구현의 가능성을 제시하였다. 그 결과 마스크의 증가 없이 누설전류를 1.39nA로 현저히 감소시킬 수 있는 구조를 제시할 수 있었으며, 또한 전기적 특성 또한 전형적인 구조에 비해 향상되는 결과를 유도할 수 있었다.
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