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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제11호
발행연도
2014.1
수록면
696 - 701 (6page)

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본 연구에서는 두께를 3.45 mm로 고정시킨 후에 직경에 변화를 주어 그에 따른 결합진동모드 AE 센서용 압전소자의 우수한 변위 및 압전특성의 조건을 찾고, NKN계의 물성값을 적용하여 유한요소 해석프로그램인 ATILA로 시뮬레이션 하여 압전소자의 최적의 비율특성을 찾아서 공기 후면층으로 AE 센서를 제작하여 특성을 측정한 결과 두께를 3.45 mm로 고정하고 직경의 변화에 따른 결합진동 모드 AE센서용 압전 소자의 변위와 keff 값은 φ/T= 1.5의 비율일 때, 변위가 가장 우수하지만 φ/T= 1.0의 비율에서 k33= 0.598, kp= 0.346, keff= 0.559로 나타났으며, 음향방출(AE) 센서용 압전소자로 최적의 특성으로 사료된다. 두께 3.45 mm 직경 3.45 mm, φ/T=1.0 비율인 압전소자의 공진주파수, 반공진주파수, 그리고 변위는 각각 553 kHz, 667kHz, 2.54 x 10-8로 나타났다. 또한, 제작한 압전소자의 공진주파수와 반공진주파수, keff 는 556.5, 631.1, 0.473으로 각각 나타났다. 결합 진동모드를 이용하여 제작된 AE 센서의 최대감도와 주파수는 55[dB], 75[kHz]이었다.

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