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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제27권 제4호
발행연도
2014.1
수록면
199 - 202 (4page)

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최근 탄화규소 쇼트키 다이오드의 특성에 중성자 조사의 효과가 연구되고 있다. 우리는 탄화규소 쇼트키 다이오드에 중성자 선을 조사하여 소자의 전기적 특성 변화에 대한 연구를 진행하였다. 중성자 조사 조건은 3.1×1,010 n/cm2이다. 중성자 조사 후에 전류밀도는 12.7에서 0.75 A/cm2로 감소하였다. 또한, 문턱전압은 0.53에서 0.68 V로 (ΔVth= 0.15 V) 증가하였으며, 니켈과 탄화규소 사이 장벽 높이는 0.89에서 1.05 eV로 (ΔΦB = 0.16 eV) 증가하였다. 이는 중성자 조사로 인하여 격자의 위치가 변하고 금속과 탄화규소의 계면 사이에 영향을 주어 소자의 특성이 변하였다고 판단된다.

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