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논문 기본 정보

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저자정보
저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제26권 제7호
발행연도
2013.1
수록면
510 - 514 (5page)

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이 논문의 연구 히스토리 (3)

2013

산화물층에 따른 IGZO/Ag/IGZO 다층 박막의 특성 연구
장야쥔 ,  이상렬 ,  김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2013.02 학술대회자료
Ag 두께에 따른 IGZO/Ag/IGZO 다층 박막의 특성 연구
장야쥔 ,  김홍배 ,  이상렬 전기전자재료학회논문지 2013.01 학술저널

2012

비정질 산화물 반도체 IGZO 박막의 특성 연구
장야쥔 ,  김홍배 한국진공학회 학술발표회초록집 2012.08 학술대회자료

초록· 키워드

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유리창을 통해 발생하는 열손실을 막아주기 위해서 좋은 단열 특성 및 낮은 방사율을 가지고 있는 Low-e coating 방법을 사용하였다. RF magnetron sputtering방법을 이용하여 XG glass 기판 위에 IGZO/Ag/IGZO 다층 박막을 증착하였다. 다층 박막의 Ag 두께가 변화에 따라 로이 다층 박막의 구조적, 광학적 특성을 분석하였다. XRD 분석 결과를 통해서 Ag 두께와 관계없이 비정질 구조임을 확인할 수 있었고, AFM 결과에 따라 박막의 표면 형태를 관찰하였다. UV-VIS 분광기를 사용하여 Ag 두께가 10, 15 nm일 때, 가시광 영역에 평균 77% 이상의 투과율 나타내었다.
#IGZO/Ag/IGZO #Oxide/Metal/Oxide #OMO) #Low emissivity #Evaporator #RF sputter #Ag thickness

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참고문헌 (8)

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C. Charton / 2000 / / Proceedings of Conference on Plasma and Surface Engineering (PSE) google schola C. Sujatha / 2002 / / Mater. Sci. Eng.(A-C) B94 : 106 ~ google schola G. Laukaitis / 2001 / / Appl. Surf. Sci 185 : 134 ~ google schola K. H. Choi / 1999 / / Thin Solid Films 341 : 152 ~ google schola S. M. A. Durani / 2004 / / Energy Build 36 : 891 ~ google schola

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