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저널정보
한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제25권 제4호
발행연도
2012.1
수록면
286 - 289 (4page)

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이 논문에서는, 우리는 지름 500 um의 필라형 압전 에너지 하베스터를 제작 연구하였다. 그 과정에서 우리는 su-8 감광액을 이용하여 리소그래피 공정을 통해 필라형 압전 에너지 하베스터의 지름을 500 um 로 소형화시킬 수 있었다.
#Energy harvesting #Micro pillar structure

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H. W. Kim / 2004 / / Jpn. J. Appl. Phys 43 : 6178 ~ google schola J. Kymissis / 1998 / Proceeding of the Second IEEE International Conference on Wearable Computing / IEEE Computer Society Press : 132 ~ google schola S. R. Platt / 2005 / / IEEE-ASME Trans. Mechatron. 10 : 455 ~ google schola 남윤수 / 2008 / SSHI기법을 이용한 압전소자로부터의 에너지 회수에 대한 연구 / 한국정밀공학회지 25 (6) : 92 ~ 98 google schola 정해도 / 2008 / Gallium Nitride 기판의 Mechanical Polishing시 다이아몬드 입자 크기에 따른 표면 Morphology의 변화 / 한국정밀공학회지 25 (9) : 32 ~ 37 google schola

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