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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2012.1
- 수록면
- 276 - 281 (6page)
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파워 소자는 전압 구동 방식으로 동작하는 소자이며, 큰 전력을 처리하기 위해 설계된 스위칭 디바이스로써 전원 공급 장치, 변환기, 모터 제어기 등에 널리 사용된다. 산업용 모터 구동에 사용되는 파워 소자의 동작 상태에서 낮은 온 저항은 전력 공급의 손실은 줄여줌으로 효율을 높이고 결과적으로 저전력 구현을 가능하게 한다. 이렇듯 IGBT와 MOSFET계열의 파워 소자의 응용 범위가 넓어지고 최근에는 빠르게 고용량화가 되어가고 있다. 이렇게 다양한 응용분야에서 사용되는 파워 반도체 소자의 중요한 변수로는 항복 전압 특성이 있다. 일반적으로 드리프트 영역의 농도를 낮추게 되면 전압은 증가하지만 온저항과 같은 기타 특성들이 감소하는 트레이드오프 관계를 유지함으로 설계 시 항복전압을 높임과 동시에 온 저항은 최소로 하는 최적화 설계를 해야 한다. 일반적으로 대부분의 파워 반도체 소자는 모서리 부분에 전계 집중 현상이 발생하여 항복전압의 저하가 일어나게 되므로 접합마감기술을 적용하여 공핍층 영역의 경계를 확장시켜 곡률 접합에서의 전계를 분산함으로써 항복전압 특성을 향상시키고 있다. 본 논문에서는 먼저 항복전압에 영향을 주는 변수들을 고려하고 600 V급 Super Junction MO SFET에 필드링의 해석을 통해 성능을 평가하였다.
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