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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제4호
발행연도
2015.1
수록면
244 - 248 (5page)

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본 연구에서는 기존 표면 플라즈몬 공명 센서의 감도를 향상시키기 위해서 이중 금속 나노 구조체를 제안하였고, 제안된 이중 금속 나노 구조체의 플라즈모닉 반사광은 FDTD 방법을 통해 분석하였다. 계산된 이중 금속 나노 구조체는 초기 금속 박막의 두께는 30 nm이고, 두 번째 금속 나노 홀의 두께는 20 nm이었다. 실험 공정에서 이중 금속 나노 구조체의 제작은 폴리스티렌 나노 비드를 이용해서 단일층으로 된 나노 패턴을 형성하고, 두 번째 증착 공정을 통해서 증착된 금속을 lift-off 공정으로 나노 홀을 제작하였다. 측정을 통해서 얻어진 벌크 표면 플라즈몬 공명 센서의 감도는 42.2 degree/RIU이었고, 이중 금속 나노 구조체의 센서 감도는 52.1 degree/RIU를 얻을 수 있었다.
#Surface plasmon resonance #Metallic nano-hole #Sensor #Polystyrene #FDTD

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A. Kosiorek / 2005 / / Small 1 : 439 ~ google schola A. Otto / 1968 / / Z. Phys. 216 : 398 ~ google schola B. Liedberg / 1993 / / Sensors and Actuators B 11 : 63 ~ google schola C. Geng / 2012 / / J. Mater. Chem 22 : 22678 ~ google schola C. J. Alleyne / 2007 / / Opt. Express 15 : 8163 ~ google schola

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