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논문 기본 정보

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저널정보
한국전기전자재료학회 Transactions on Electrical and Electronic Materials Transactions on Electrical and Electronic Materials 제14권 제3호
발행연도
2013.1
수록면
116 - 120 (5page)

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This paper proposes a novel RF MEMS dc-contact switch with stiff membrane on a quartz substrate. The uniqueness of this work lies in the utilization of a seesaw mechanism to restore the movable part to its rest position. The switching action is done by using separate pull-down and pull-up electrodes, and hence operation of the switch does not rely on the elastic recovery force of the membrane. One of the main problems faced by electrostatically actuated MEMS switches is the high operational voltages, which results from bending of the membrane, due to internal stress gradient. This is resolved by using a stiff and thick membrane. This membrane consists of flexible meanders, for easy movement between the two states. The device operates with an actuation voltage of 6.43 V, an insertion loss of -0.047 dB and isolation of -51.82 dB at 2 GHz.
#RF MEMS #DC-Contact switch #Seesaw #Quartz substrate #Low-voltage MEMS switch

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