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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제28권 제11호
발행연도
2015.1
수록면
727 - 730 (4page)

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본 논문에서는 CNT/PMMA (Multiwalled carbon nanotube / polymethylmethacrylate) 복합막을 이용하여 유기화합물 증기의 검출기를 제작하였다. 고분자막은 소자의 틀을 위한 매트릭스 물질로 사용하였으며, 탄소나노튜브는 유기화합물과 반응하여 전기전도도의 변화를 초래하는 물질로 사용하였다. CNT/PMMA 복합막 검출기를 형성하기 위해 스프레이 코팅법이 사용되었으며, 검출기의 패터닝은 스프레이 코팅 중에 쉐도우 마스크를 사용하여 수행하였다. 검출기가 유기화합물에 노출되기 전과 후의 전기전도도의 변화를 조사하였다. 검출기의 전기전도도는 아세톤, THF, 톨루엔, DMF 등의 유기화합물 증기에 노출된 후에 감소하는 경향을 보였다. 마지막으로, CNT/PMMA 복합막 검출기에 의한 유기화합물의 검출이 가능하다고 결론지었으며, 다양한 유기화합물 증기의 검출을 위한 CNT/PMMA 복합막 검출기의 상용화 가능성을 기대할 수 있다.

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