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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 290 - 296 (7page)
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본 연구에서는 화학적 및 구조적으로 안정된 MWCNT를 이용하여 수 ppm이하의 검출 능력을 갖는 수소 가스센서를 만들고, 제작된 센서를 미세 구조 및 전기적 특성, 수소 분자 흡착 특성을 분석하였다. 특히, 기판과 MWCNT 사이에 구조적 안정성, 밀착성 및 가스흡착성을 증가시키기 위하여 사용된 유리기판 표면을 플라즈마 및 니트로셀롤로우스로 처리하였으며, 전 처리된 기판위에 MWCNT 분산체를 스프레이법으로 성막하였다. 그리고, 제작된 박막을 수소 가스센서로 활용하기 위해서 금 전극을 박막 표면에 스퍼터링법으로 증착 하였다. 제작된 가스센서는 수소가스 검출 시스템의 항온조 내에 장착하여 수소가스 검출 특성을 측정하였다. 플라즈마/니트로셀롤루스로 처리된 기판위에 60sec 동안 MWCNT를 스프레이하여 제작된 센서에 대해서 0.06∼0.6 ppm의 수소 농도 변화에 따른 센서의 민감도 및 선형성검출 특성은 0.013∼0.097 %/sec 및 0.131∼0.959 %FS 범위의 값을 각각 보였다. 제작된 박막에 대한 이러한 특성값은 수소가스 검출 센서로 활용이 가능한 수준이라고 판단된다.
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