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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제24권 제4호
발행연도
2011.1
수록면
266 - 270 (5page)

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Cr을 이용하여 AlGaN/GaN 쇼트키접촉을 구현하였다. TFE 방법과 2DEG 방법에 의하여 얻어진 SBH는 각각 1.98 eV와 2.08 eV이었으며, 이는 Polarization- free AlGaN 구조에서 얻어진 0.9 eV보다 높은 값을 나타내었다. XPS 분석을 통하여, 높은 SBH 형성원인이 AlGaN/GaN 구조에서 AlGaN 전자표면밀도의 감소, 계면에서 Cr-O 화학결합형성 및 표면 Fermi level의 발런스 밴드 방향으로의 이동에 의한 것임을 알 수 있다. 본 연구결과는 고성능 전자소자 구현에 있어 고품질 Schottky gate개발에 큰 기여를 할 것으로 기대된다.

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