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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제19권 제5호
발행연도
2006.1
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The study on laser-ablation plasmas has been strongly interested in fundamental aspects of laser-solid interaction and consequent plasma generation. In particular, this plasma has been widely used for the deposition of thin solid films and applied to the semiconductors and insulators. In this paper, we developed and discussed the generation of carbon ablation plasmas emitted by laser radiation on a solid target, graphite. The progress of carbon plasmas by laser-ablation was simulated using Monte-Carlo particle model under the pressures of vacuum, 1 Pa, 10 Pa and 66 Pa. At the results, carbon particles with low energy were deposited on the substrate as the pressure becomes higher. However, there was no difference of deposition distributions of carbon particles on the substrate regardless of the pressure.
#Plume #Laser ablation #Particle model #Carbon plasmas #Deposition

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/ 1991. / Monte Carlo simulation of the laser-induced plasma- plume expansion under vacuum and with a background gas 138-139 : 97 ~ google schola / 1991. / Self-consistent Monte Carlo modelling of non-equilibrium RF plasma in argon gas 111-a (11) : 962 ~ google schola / 1994. / Pulsed laser deposition of thin film : 40 ~ google schola / 1999. / Characterization of laser-ablation plasmas 32 : 131 ~ google schola / 2000. / Deposition of fine carbon particles using pulsed ArF laser ablation assisted by inductively coupled plasma 374 : 287 ~ google schola

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