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논문 기본 정보
- 자료유형
- 학술저널
- 저자정보
- 발행연도
- 2011.1
- 수록면
- 760 - 765 (6page)
이용수
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RF 마그네트론 스퍼터링법으로 유리기판 위에 ZnS 박막을 증착하였고, 기판온도 변화에 (상온-500℃) 따른 ZnS 박막의 구조 및 광학적 특성을 X-선 회절 (XRD), 전계방출주사현미경 (FESEM), X-선 분광분석 (EDAX), 자외선-가시광 분광계 (UV-visible transmission) 측정법으로 조사하였다. XRD 분석 결과로부터, ZnS 박막은 (111) 우선 방향으로 성장된 cubic 결정구조로 형성되었고, 기판 온도 상승에 따라 회절 피크의 강도는 증가하였다. 기판온도가 400℃에서 증착한 박막의 경우, 대략 67 nm 크기의 결정립이 미세 표면 조직에 균일하게 분포되어 있음을 FESEM 결과로 확인하였다. 상대적으로 높은 80%의 평균 광 투과율과 3.71 eV 의 광학적 에너지 밴드 갭을 보여주어 기판온도 증가에 따라 밴드 갭 또한 넓어지는 결과를 얻을 수 있었다.
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