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한국전기전자재료학회 전기전자재료학회논문지 전기전자재료학회논문지 제22권 제12호
발행연도
2009.1
수록면
1,023 - 1,027 (5page)

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Cadmium sulfide (CdS) thin film for flexible optical device applications were prepared at H2/(Ar+H2) flow ratios on polyethersulfon (PES) flexible polymer substrates at room temperature by radio frequency magnetron sputtering technique. The CdS thin films deposited at room temperature showed a (002) preferred orientation and the smooth surface morphologies. Films deposited at a hydrogen flow ratio of 25% exhibited a photo- and dark-sheet resistance of about 50 and 2.7 x 105 Ω/square, respectively. From the result of the bending test, CdS films exhibit a strong adhesion with the PES polymer substrates and the Al2O3 passivation layer deposited on the CdS films only shows an increase of the resistance of 8.4% after exposure for 120 h in air atmosphere.

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